Reinräume für die Halbleiterfertigung

Optimale Reinraumfiltration mit LydAir® GP

In den heutigen, präzisionsorientierten Industrien, von Halbleiterfabriken bis hin zu fortschrittlicher Elektronik, stellen Luftschadstoffe (AMC) eine Bedrohung für die Produktqualität, die Ertragsrate und die Betriebseffizienz dar. Die Kontrolle dieser Schadstoffe erfordert mehr als nur die Abscheidung von Partikeln – sie erfordert ausgeklügelte molekulare Filtermedien, die den höchsten Reinraumstandards entsprechen müssen.

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Scientist examining semiconductor wafer under microscope.

Die Herausforderung

Nicht alle Aktivkohlefiltermedien können den strengen Anforderungen entsprechen. Halbleiter-Reinräumungen. Viele Optionen zeigen eine schlechte Adsorption Leistung, kurze Lebensdauer und hohe Wartungskosten, was die Empfindliche Produkte und kostspielige Prozesse sind gefährdet. Um die Ertragslage zu sichern, Reinraumbetreiber benötigen Filtermedien, die eine hohe Effizienz vereinen., Lange Lebensdauer und geringer Druckabfall. 

Unsere Lösung

Alkegen’s LydAirDas ® GP wurde speziell für Reinräume entwickelt. Anwendungen in der Halbleiterfertigung. Durch die Kombination Fortgeschrittenes Verbundwerkstoff-Design mit präziser Auswahl der Sorbente und Optimiertes Grundgewicht – unsere Medien bieten eine hervorragende Schutzwirkung gegen AMC und VOCs sorgen dabei für eine Minimierung des Energieverbrauchs des Systems.

Nachgewiesene Vorteile

  • 20–30 Prozent höhere Leistung pro Gramm Medien​
  • 15–30 Prozent geringerer Druckverlust bei gleicher Grundmasse​
  • Verlängerte Filterlebensdauer & reduzierte Wartungskosten​
  • Verbundsorbents + synthetische Vliesstoffe für maximale Effizienz Effizienz​
  • Optimierte Sorbent-Chemie für SO₂, VOCs und saure Gase​
  • Kontrollierte Grundmasse zur Ausgleichung der Filterleistung und Abfall des Drucks​
  • Ausgezeichnet Geschmacklichkeit zur Vereinfachung der Filterherstellung 

Alkegen Vorteile

  • Eine Reihe von Lösungen ist in den Ausführungen GP0480 und GP0640 verfügbar. (Mehrere Konfigurationen für die VOC- und Säurebeseitigung)​
  • Die Leistungsstufen umfassen MERV 15–16, ISO ePM10 80% / ePM1 75%​
  • Zuverlässige, globale Lieferkette mit über 60 Produktionsstandorten weltweit Ausstattung

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Schützen Sie Ihre Halbleiterprozesse mit der effizienten und wartungsarmen Lösung, die weltweit vertraut ist.

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